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      技術(shù)文章

      高溫爐操作規(guī)程

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      高溫爐操作規(guī)程
      1 準(zhǔn)備工作
      a,檢查電源線接觸是否良好
      b,檢查連接線是否正常
      c,檢查冷卻水是否正常
      d,檢查密封性是否正常
      e, 準(zhǔn)備所需工具:無塵紙、無水酒、帆布手套、作業(yè)手套、口罩、耐高溫手套、石墨推車、不銹鋼托盤
      2 開爐
      a,打開主電源開關(guān)
      b, 向爐體充氬氣至大氣壓,打開爐體前門,取下石墨蓋板
      c, 將輸送車開關(guān)打至 OUT,依次操作 UP - FORWARD - UP - BACK - DOWN 按鈕,取出 。石墨坩堝,依次放置于石墨推車上輸送車開關(guān).
      d, 清爐 清理爐膛內(nèi)壁、石墨件及保溫材料上的污物
      3裝料
      a,將石墨坩堝放置于輸送車平臺上,使用限位桿確定其位置,依次裝入硅料。
      b、拔出限位桿,輸送車開關(guān)打至 IN,依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN,將坩堝裝入爐膛內(nèi),并確定輸送車會到初始位置。
      c、裝入石墨蓋板,擰緊石墨螺栓,關(guān)緊爐門
      4 高溫爐抽氣
      a、檢查爐門是否關(guān)緊,真空系統(tǒng)是否密封
      b、置 DP 按鈕于 DP ON,打開干式真空泵,打開真空計開關(guān) P1G1,打開干式真空泵 。閥門,開始抽氣測試泄漏率,
      c、當(dāng)壓力表指示為 50Pa是關(guān)閉真空泵閥門(非真空泵)露鋁≤1Pa/min,打開氬氣閥門充氬氣(20L/min)。
      加熱 先打開水環(huán)泵 再按 RUN,開始工藝加熱。
      冷卻
      a、加熱結(jié)束后,按工藝條件進(jìn)行冷卻;

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